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第452章 光刻！光刻！（第8页）

他放下笔，看着吕辰：“小吕，咱们这台光刻机，是我设计的。我知道它哪里行，哪里不行。现在你们做这个脉冲电机，正好可以把它最不行的地方，改过来。”

吕辰沉默了几秒，然后重重地点头。

“陈厂长，我明白了。您的这个改造方案，比我们单纯做脉冲电机，高了一个层次。”

陈光远笑了：“别夸我。我就是天天在车间里看，看得多了，就知道问题在哪。你们做技术的，能把电机做出来，才是真本事。”

钱兰问道：“陈厂长，那您说的监视是指？”

陈光远笑道：“这个你们最清楚，方教授研发的光阴极，小吕的方案，方教授已经告诉我了，下一代光刻机集成了那个系统，就能做到实时监控曝光情况。”

诸葛彪感叹道：“那良率怕是能做到60%以上……”

陈光远笑道：“不只是良率的事，良率60%以上只是基本的，单从技术主讲，能突破2微米工艺。”

钱兰和诸葛彪都惊呆了：“2微米工艺，能放多少晶体管。”

吕辰道：“诸葛师兄，钱师姐，技术固然重要，但最重要的是效率，机械对准的效率，比起人工对准，起码要翻几个倍，芯片的成本能极度压缩，这就是优势，能让星河计划成长起来的保障。”

陈光远笑道：“李厂长已经去请梁先生，6305厂的新产线，开春就要建设了，下一代光刻机，已经在长光所开始研发，所以你们这个高频脉冲电机，要抓紧了。”

三人感觉压力一下子大了起来。

吕辰感觉心里有一股劲：“陈厂长，我们会加快的。”

窗外，夕阳西下，余晖洒在6305的崭新厂房上。

这是中国第一座现代化的集成电路工厂。

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